Siliciumcarbid / Siliciumnitrid
Siliciumcarbid
Siliciumcarbid (auch Siliziumcarbid, Siliziumkarbid oder SiC) zeichnet sich durch seine hohe Wärmeleitfähigkeit, geringe Wärmeausdehnung, hohe Temperaturwechselbeständigkeit, hohe Härte, sowie gute Korrosionsbeständigkeit und chemische Beständigkeit aus.
Eigenschaften von Siliciumcarbid (SiC)
| Schmelzpunkt | 2730°C |
|---|---|
| Temperaturwechselbeständigkeit | 450°C |
| Wärmeleitfähigkeit | 150 W/(m.K) |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 2,9 x 106 |
| Relative Dichte | 3,1 |
| Härte | Hv 24 GPa |
Anwendungsbereiche
Produkte und Komponenten mit hoher Wärmeleitfähigkeit und hoher Steifigkeit bei hohen
Temperaturen: Gleitringe, Dichtungen, Lager, Buchsen, Hülsen, Stäbe, Düsen.
Komponenten der Halbleitertechnik, wie SiC Waferträger, SiC Platten, SiC Scheiben, SiC Heizelemente, SiC Elektroden, SiC Hubstifte, SiC Düsen, usw.
Siliciumnitrid
Siliciumnitrid (Si3N4) verfügt über Eigenschaften, wie eine geringe Wärmeausdehnung und eine hohe Temperaturwechselbeständigkeit. Es besitzt ebenfalls hervorragende mechanische Eigenschaften und wird daher für diverse Maschinenkomponenten verwendet.
Eigenschaften von Siliciumnitrid (Si3N4)
| Schmelzpunkt | 1600°C |
|---|---|
| Temperaturwechselbeständigkeit | 650°C |
| Wärmeleitfähigkeit | 13 W/(m.K) |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 1.5 x 10-6 |
| Relative Dichte | 3.2 |
| Härte | Hv 16 GPa |
Anwendungsbereiche
Produkte und Komponenten mit geringer Wärmeausdehnung und hoher Temperaturwechselbeständigkeit: Motorenteile, Gasturbinenkomponenten, Lager, Führungsrollen, Gasbrennerteile, Komponenten für Brennkammern und Öfen, Bolzen, Isolatoren, Düsen
Bearbeitungsbeispiele
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Waferträger
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Saugplatte
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Shower Head Platte
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SiC Suszeptor
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rechteckiger SiC Träger
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SiC Filter
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SiC Kappe
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SiC Ring
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SiC Scheibe
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Schaftschraube M10
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Siliciumnitrid-Produkt
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Komponenten aus Siliciumnitrid
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