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Silicio (Si) - Piezas mecanizadas a medida
El silicio es el material semiconductor más común. El silicio de alta pureza es el material tanto para las obleas de silicio como para los componentes de procesamiento de semiconductores para evitar las partículas y la contaminación.
El silicio de cristal columnar está disponible en grandes tamaños. También tiene una resistencia mecánica superior en una amplia gama de temperaturas. Además, la maquinabilidad del silicio cristalino columnar es mejor que la del silicio monocristalino, y puede mecanizarse con menos astillamiento y grietas.
Propiedades del silicio
| Propiedades (Unit) |
Dureza Vickers HV(GPa) |
Resistencia a la flexión (MPa) |
Punto de fusión (℃) |
Coeficiente de expansión térmica(×10-⁶/℃) | Conductividad térmica(W/(m・K)) | Resistividad volumétrica (μΩ･㎝) |
Pureza (％) |
Doping |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Estructura & Densidad a granel | ||||||||
| Cristal único (Si) |
7 | 78 | 1,414 | 3.4 | 160 | 0.1～100 | 11N | N P |
| Cristal columnar (Si) |
7 | 85 | 1,414 | 3.3 | 163 | 0.001～10 | 6N | P |
Tamaños y capacidades de procesamiento disponibles
| Disponibilidad | Medidas (mm) | Capacidad de procesamiento | Medidas (mm) |
|---|---|---|---|
| Plato | 500×800×50(columnar crystal Si only) | Diámetro del agujero | Φ0.03 o más |
| Varilla | Φ100×400(columnar crystal Si only) | Profundidad del agujero | 20D（si es inferiorΦ1.5）、400（si es inferiorΦ1.5） |
| Ancho de ranura | ranura ~0.05 | Número máximo de agujeros | 5,000 |
| Altura máxima del escalón | 100 | Dimensión de la rosca | M3 o más (Se requiere la instalación de insertos de bobinas helicoidales) |
Silicio (Si) - Piezas mecanizadas a medida
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