Placa de enfriamiento mediante unión por difusión

Diámetro externo: 270 mm.  □Canal de flujo interno: *7 mm de ancho x 4 mm de alto.

Canales para enfriamiento : 

Placas de molibdeno (Mo) de 270 mm de ancho y 6.5 mm de espesor están unidas.

Se han creado canales de flujo en el interior. La prueba de fuga confirmó que es inferior a 5.5×10^-11 [Pa·m³/s].

Puede utilizarse para aplicaciones en equipos de fabricación de semiconductores.