Anello in Carburo di Silicio
Product | Anello in Carburo di Silicio |
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Material | Carburo di Silicio (SiC) |
Processing Method | Lavorato tramite macchinario CNC |
Size | O.D.Φ50 x I.D.Φ40 x 5 mm(T) |
Application | Anello in carburo di silicio utilizzato come componente di una camera. |
Description | L'anello in carburo di silicio (SiC) è utilizzato nelle camere di deposizione chimica in fase vapore potenziata al plasma (PECVD). Il carburo di silicio ha proprietà come elevata resistenza al plasma e al calore. |