Mecanizado de Precisión de
Materiales Ultrarresistentes

350 x 5 mm (T), Tolerancia de planitud: 0.01 mm

Dispositivos para equipos de fabricación de semiconductores, por ejemplo, la oblea ficticia o las mordazas electrostáticas.

El nitruro de aluminio posee propiedades de alta resistencia al calor, elevada conductividad térmica, excelente igualación térmica y aislamiento eléctrico. La película de sustrato de AlN se utiliza principalmente para dispositivos de fabricación de semiconductores, y también puede emplearse en sistemas de evaporación al vacío, máquinas de pulverización catódica y dispositivos de depósito químico de vapor (CVD).