Ejemplos de mecanizado

Substrato de AlN

Producto Substrato de AlN
Material Nitruro de Aluminio (AlN)
Método de tratamiento Mecanizado por máquina CNC
Talla

350 x 5 mm (T), Tolerancia de planitud: 0.01 mm

Aplicación

Dispositivos para equipos de fabricación de semiconductores, por ejemplo, la oblea ficticia o las mordazas electrostáticas.

Descrizione

El nitruro de aluminio posee propiedades de alta resistencia al calor, elevada conductividad térmica, excelente igualación térmica y aislamiento eléctrico. La película de sustrato de AlN se utiliza principalmente para dispositivos de fabricación de semiconductores, y también puede emplearse en sistemas de evaporación al vacío, máquinas de pulverización catódica y dispositivos de depósito químico de vapor (CVD).

Nitruro de aluminioMachining Examples