Molibdeno: Piastra di raffreddamento con saldatura per diffusione

Diametro esterno: Ø270 mm,  Canale di flusso interno: 7 mm di larghezza x 4 mm di altezza

Canali per il raffreddamento:

Lastre di molibdeno (Mo) della larghezza di 270 mm e spessore di 6.5 mm sono unite insieme. Canali di flusso sono creati all’interno. Il test di tenuta ha confermato che è inferiore a 5.5×10^-11 [Pa·m^3/s]. Può essere utilizzato per applicazioni in attrezzature di produzione di semiconduttori.