Substrat de chauffage en AlN

| Produkt | Substrat de chauffage en AlN |
|---|---|
| Matériau | Nitrure d'aluminium |
| Méthode de traitement | Rainurage (largeur de la rainure : 0,3mm) |
| Taille | Φ200 x 5 mm(T) |
| Application | Composants de dispositifs sous vide pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs. |
| Description |


