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PolishSilicium (Si) - Pièces usinées sur mesure
Le silicium est le matériau semi-conducteur le plus courant. Le silicium de haute pureté est le matériau utilisé pour les plaquettes de silicium et les composants de traitement des semi-conducteurs afin d'éviter les particules et la contamination.
Le silicium cristallin colonnaire est disponible en grandes dimensions. Il présente également une résistance mécanique supérieure sur une large plage de températures. En outre, l'usinabilité du silicium cristallin colonnaire est meilleure que celle du silicium monocristallin, et peut être usiné avec moins d'ébréchures et de fissures.
Propriétés du silicium
| Propriété (Unit) |
Dureté Vickers HV(GPa) |
Résistance à la flexion (MPa) |
Point de fusion (℃) |
Coefficient de dilatation thermique(×10-⁶/℃) | Conductivité thermique (W/(m・K)) | Résistivité volumique (μΩ･㎝) |
Pureté (％) |
Dopage |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Structure & Formule chimique | ||||||||
| Monocristal (Si) |
7 | 78 | 1,414 | 3.4 | 160 | 0.1～100 | 11N | N P |
| Cristal colonnaire (Si) |
7 | 85 | 1,414 | 3.3 | 163 | 0.001～10 | 6N | P |
Tailles disponibles et capacité d'usinage
| Disponibilité | Tailles (mm) | Capacité d'usinage | Tailles (mm) |
|---|---|---|---|
| Plaque | 500×800×50(columnar crystal Si only) | Diamètre du trou | Φ0.03 ou plus |
| Tige | Φ100×400(columnar crystal Si only) | Profondeur du trou | 20D（si inférieur àΦ1.5）、400（si inférieur àΦ1.5） |
| Largeur de la rainure | rainure ~0.05 | Nombre maximal de trous | 5,000 |
| Hauteur maximale des marches | 100 | Taille du filetage | M3 ou plus (Installation d'inserts hélicoïdaux requise) |
Silicium (Si) - Pièces usinées sur mesure
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