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Anneau en SiC
| Produkt | Anneau en SiC |
|---|---|
| Matériau | Carbure de silicium |
| Méthode de traitement | Usinage CNC |
| Taille | Φ50 (extérieur) x Φ40 (intérieur) x 5 mm (T) |
| Application | Anneau en carbure de silicium utilisé comme composant de chambre. |
| Description | L’anneau en SiC est utilisé dans les chambres CVD améliorées par plasma. Le carbure de silicium possède les propriétés telles qu’une haute résistance au plasma et à la chaleur. |
