Plateau de douche

Product Plateau de douche
Material Carbure de silicium
Processing Method Perçage de micro-trous
Size

Φ300 x 8 mm(T)

Application

Utilisé dans les dispositifs de fabrication de semi-conducteurs.

Description

Une plaque de douche en carbure de silicium est utilisée dans un équipement de traitement de surface par plasma. Elle comporte 800 micro-trous de Φ1,0 mm percés sur la plaque de douche en carbure de silicium. Le carbure de silicium présente une résistance chimique et une résistance à la corrosion élevées. Il s'agit d'un matériau populaire pour les pièces utilisées dans les équipements de traitement des semi-conducteurs.

Carbure de siliciumMachining Examples