Plateau de douche

Product	Plateau de douche
Material	Carbure de silicium
Processing Method	Perçage de micro-trous
Size	Φ300 x 8 mm(T)
Application	Utilisé dans les dispositifs de fabrication de semi-conducteurs.
Description	Une plaque de douche en carbure de silicium est utilisée dans un équipement de traitement de surface par plasma. Elle comporte 800 micro-trous de Φ1,0 mm percés sur la plaque de douche en carbure de silicium. Le carbure de silicium présente une résistance chimique et une résistance à la corrosion élevées. Il s'agit d'un matériau populaire pour les pièces utilisées dans les équipements de traitement des semi-conducteurs.

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