Quarzglas / Kieselglas
Quarzglas weist eine geringe Wärmeausdehnung, hohe chemische Beständigkeit, hohe Temperaturwechselbeständigkeit, geringe Wärmeleitfähigkeit und einen hohen elektrischen Widerstand auf. Es ist durchlässig für IR- bis UV-Strahlung, jedoch undurchlässig für Gase.
Die Anwendungen von Quarzglas beinhalten Komponenten der Halbleitertechnik und Analyseinstrumente, beispielsweise für Emissionsspektrometer.
Eigenschaften von Quarzglas
| Schmelzpunkt | 1700°C |
|---|---|
| Temperaturwechselbeständigkeit | 1000°C |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,38 W/(m.K) |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 0,51 x 106 |
| Relative Dichte | 2,2 |
| Härte | Hv 9 GPa |
*hohe Temperaturwechselbeständigkeit, geringe Wärmeausdehnung
Anwendungsbereiche
- chemisch resistente und korrosionsbeständige Bauteile
- dielektrische Komponenten
- Quarzrohre für Diffusionszwecke in Rohröfen
- Komponenten für CVD Anlagen: Waferträger , elektrostatische Chucks, Substrate
Bearbeitungsbeispiele
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Saugplatte
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Shower Head Platte
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kuppelförmiger Shower Head
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Klemmbacke
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Shower Head Platte
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Shower Head Platte
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Düse
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Düse
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Düse
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Ring
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Hülse
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Halterung für Klemmen
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