Präzisionsbearbeitung

Beispiele der Präzisionsbearbeitung
Anwendungsbeispiele sind in zahlreichen Bereichen zu finden, von Prüfhalterungen über Elektroden, Shower Head Platten, Tiegeleinsätze, Kollimatoren, Spannvorrichtungen und Suszeptoren, bis hin zu Tischen für Prüfkörper, Saugplatten, Isoliermaterial, Düsen und weiteren Komponenten für Geräte und Anlagen der Industrie, Medizin, Lebensmittelverarbeitung und anderer Branchen.
Molybdän-Elektrode
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Kuppelförmige Molybdän-Komponente, Plattendicke: 0,05mm, minimal verbleibende Materialbreite: 0,05mm
Dünnwandiges Modell
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Bauteil aus einem Aluminiumoxid-Block (50mm x 40mm x 20mm) gefräst,
verbleibende Materialdicke: 0,2mm.
Suszeptor
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Aluminiumoxid-Scheibe, gefräst auf eine Höhe von 0,5mm +/- 3 μm , erzielte Ebenheit: 5 μm.
Isolierblatt
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Aluminiumnitrid-Blatt mit einem Durchmesser von 350mm und einer Dicke von 0,15mm.
Bild 1 und 3 verdeutlichen die Transparenz des Bauteils. Bild 2 zeigt die Verformbarkeit bei geringer Belastung.
Tasterschutz
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100 Mikrolochbohrungen mit einem Durchmesser von je 0,07mm, in der Mitte des Aluminiumoxid-Bauteils.
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Auf ein schwarzes Aluminiumoxid-Stück (Durchmesser 0,9mm) gefräster Bärenkopf. Die Rillenbreite beträgt 0,07mm.