Präzisionsbearbeitung spröder Materialien

Präzisionsbearbeitung

Mit speziell entwickelten Werkzeugen, temperaturüberwachten Maschinen und klimatisierten Räumen streben unsere erfahrenen Techniker bei der Bearbeitung von Keramik, Wolfram und Molybdän nach höchster Präzision. Unser Ziel ist stets höchste Maßgenauigkeit, Positionsgenauigkeit und Genauigkeit von Bohrungsdurchmessern, sowie Ebenheit, Parallelität und Oberflächenrauheit zu erreichen.

Beispiele der Präzisionsbearbeitung

Anwendungsbeispiele sind in zahlreichen Bereichen zu finden, von Prüfhalterungen über Elektroden, Shower Head Platten, Tiegeleinsätze, Kollimatoren, Spannvorrichtungen und Suszeptoren, bis hin zu Tischen für Prüfkörper, Saugplatten, Isoliermaterial, Düsen und weiteren Komponenten für Geräte und Anlagen der Industrie, Medizin, Lebensmittelverarbeitung und anderer Branchen.

Molybdän-Elektrode

Kuppelförmige Molybdän-Komponente, Plattendicke: 0,05mm, minimal verbleibende Materialbreite: 0,05mm

Dünnwandiges Modell

Bauteil aus einem Aluminiumoxid-Block (50mm x 40mm x 20mm) gefräst,
verbleibende Materialdicke: 0,2mm.

Suszeptor

Aluminiumoxid-Scheibe, gefräst auf eine Höhe von 0,5mm +/- 3 μm , erzielte Ebenheit: 5 μm.

Isolierblatt

Aluminiumnitrid-Blatt mit einem Durchmesser von 350mm und einer Dicke von 0,15mm.
Bild 1 und 3 verdeutlichen die Transparenz des Bauteils. Bild 2 zeigt die Verformbarkeit bei geringer Belastung.