Duschkopfplatte

Product	Duschkopfplatte
Material	Siliciumcarbid
Processing Method	Bohren von Mikro-Löchern
Size	Φ300 x 8 mm(T)
Application	Wird in Geräten zur Halbleiterherstellung verwendet.
Description	Eine Duschplatte aus Siliziumkarbid wird in Plasmabehandlungsanlagen verwendet. Sie hat 800 Mikrolöcher von Φ1,0 mm, die in die SiC-Duschplatte gebohrt sind. Siliziumkarbid hat eine hohe chemische Beständigkeit und Korrosionsbeständigkeit und ist ein beliebtes Material für Teile, die in Halbleiterverarbeitungsanlagen verwendet werden.

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