Molybdän-Diffusionsbonding – Kühlplatte

Außendurchmesser: 270 mm Durchmesser.      □ Innere Durchflussrinne: *7 mm breit x 4 mm hoch.

Kanäle für Kühlung:

“Platten aus Molybdän (Mo) mit einer Breite von 270 mm und einer Dicke von 6,5 mm werden miteinander verbunden.
Innen werden Durchflusskanäle erstellt.
Der Dichtheitstest hat bestätigt, dass es weniger als 5,5 × 10^-11 [Pa-m^3/sec] ist.
Es kann für Anwendungen in der Herstellung von Halbleiterausrüstungen verwendet werden.