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SiC-Ring
| Produkt | SiC-Ring |
|---|---|
| Material | Siliciumcarbid |
| Verfahren | CNC-Bearbeitung |
| Größe | ADΦ50 x IDΦ40 x 5 mm(T) |
| Anmeldung | Siliciumcarbidring, der als Kammerkomponente verwendet wird. |
| Beschreibung | Der SiC-Ring wird in plasmagestützten CVD-Kammern verwendet. Zu den Eigenschaften von Siliciumcarbid gehören eine hohe Plasma- und Hitzebeständigkeit. |
