SiC-Suszeptor
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Produkt | SiC-Suszeptor |
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Material | Siliciumcarbid |
Verfahren | Stanzen |
Größe | Stanzen von Φ1,0 x 0,5 mm |
Anmeldung | Für Geräte zur Halbleiterherstellung. |
Beschreibung | Ein Suszeptor aus Siliciumcarbid wird zum Erwärmen und Halten der Wafer verwendet. |