Suszeptor

Produkt | Suszeptor |
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Material | Aluminiumnitrid |
Verfahren | Prägung φ2,0 mm zylindrischer Vorsprünge |
Größe | φ150 mm Ausrichtung flach |
Anmeldung | Verwendet für Halbleiterfertigungsanlagen. |
Beschreibung | Ein Suszeptor für ein Wafer-Heizgerät, das mit einem CNC-Bearbeitungszentrum bearbeitet wird. |