Optimieren Sie die Herstellung Ihrer Halbleiter

 

 

Einleitung:

Die Halbleiterindustrie hat in den letzten Jahren bedeutende Innovationen in der Chip-Leistung erlebt. Dies ist vor allem den Fortschritten in der Miniaturisierung von Schaltkreisen und den mehrschichtigen Verpackungstechniken zu verdanken. Besonders hervorzuheben sind dabei die 3D-Verpackung und das hybride Bonding, zwei Schlüsseltechnologien in der Produktion von Halbleitern der mittleren Preisklasse.

 

Keramische Vakuumspannfutter:

Wir bei Top Seiko sind spezialisiert auf die Lieferung von hochwertigen Vakuumspannfuttern aus Keramik, die aus einer Vielzahl von Materialien gefertigt werden, um den Anforderungen dieser fortschrittlichen Produktionsprozesse gerecht zu werden. Unsere Spannfutter werden individuell entwickelt, um die spezifischen Anforderungen jedes Kunden zu erfüllen und dabei präzise und zuverlässige Leistung zu gewährleisten.

Für Anwendungen, die eine schnelle Wärmeübertragung, eine hohe Steifigkeit oder eine enge Übereinstimmung mit dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Silizium-Wafern erfordern, empfehlen wir Vakuumspannfutter aus Siliziumkarbid (SiC) oder SiC-basierte Verbundwerkstoffe (MMC).

Diese Materialien bieten eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit und Festigkeit und sind somit ideal für Hochleistungsanwendungen geeignet.

• MMC-Konzentrische Rillen

  Produktname: φ180, 2 mm konzentrische Rille
  Verwendetes Material: SS701
  Bearbeitungsdetails: Eine Rille mit einer Breite von 2 mm wurde bei einem Außendurchmesser von ca. 180 mm eingefräst.
  Anmerkungen: Die Rillentiefe beträgt 2,0 mm. Sie bietet eine hohe Wärmeleitfähigkeit.

Für Anwendungen, bei denen eine thermische Isolierung, minimale thermische Ausdehnung oder optische Transparenz zur Inspektion der Substrate entscheidend ist, ist Quarzglas das ideale Material. Es bietet hervorragende Isolationseigenschaften und ermöglicht eine visuelle Inspektion durch das Substrat, was es zu einer vielseitigen Wahl macht.

 

Beispiele für präzisionsbearbeitete Werkstücke:

Neben der Materialauswahl ist die Ebenheit der oberen Oberfläche des Vakuumspannfutters entscheidend für das korrekte Handling der Wafer.
Bei Top Seiko setzen wir die ultra-präzise Schleiftechnologie von NAGASE ein, um eine branchenführende Ebenheit von 0,003 mm zu erreichen. In einigen Fällen können wir sogar noch strengere Spezifikationen erfüllen.

Darüber hinaus bieten wir eine Vielzahl von maßgeschneiderten Dienstleistungen an, darunter das Einsetzen von Helicoils, Beschichtungen und Polierarbeiten, um sicherzustellen, dass unsere Spannfutter optimal auf Ihre Anforderungen abgestimmt sind.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um zu erfahren, wie wir Sie bei der Erreichung Ihrer technologischen Ziele unterstützen können!