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Suscepteur SiC
| Product | Suscepteur SiC |
|---|---|
| Material | Carbure de silicium |
| Processing Method | Contre-alésage |
| Size | φ290×5mm (T) |
| Application | Utilisé dans les équipements de convoyage des dispositifs de fabrication de LED. |
| Description | Un support de plaquettes en carbure de silicium est utilisé dans un équipement de convoyage. Il comporte des contre-alésages de Φ2 pouces pour transporter les substrats de LED. Le carbure de silicium est le matériau populaire pour ces plateaux car il s'agit du matériau céramique le plus dur et il présente une excellente résistance chimique. |
