Suscepteur SiC

Product	Suscepteur SiC
Material	Carbure de silicium
Processing Method	Contre-alésage
Size	φ290×5mm (T)
Application	Utilisé dans les équipements de convoyage des dispositifs de fabrication de LED.
Description	Un support de plaquettes en carbure de silicium est utilisé dans un équipement de convoyage. Il comporte des contre-alésages de Φ2 pouces pour transporter les substrats de LED. Le carbure de silicium est le matériau populaire pour ces plateaux car il s'agit du matériau céramique le plus dur et il présente une excellente résistance chimique.

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