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Aluminiumnitrid (AlN) - Kundenspezifisch bearbeitete Teile
Aluminiumnitrid ist bei sehr hohen Temperaturen in inerten Atmosphären stabil. Außerdem ist es das einzige technische Keramikmaterial, das eine hohe Wärmeleitfähigkeit und eine gute elektrische Isolierung aufweist.
Eigenschaften von Aluminiumnitrid
| Eigenschaft (Einheit) | Vickers-Härte HV（GPa） |
Bruchzähigkeit （MPaｍ1/2) |
Maximale Einsatztemperatur（℃） | Wärmeausdehnungskoeffizient（×10-⁶/℃） | Wärmele itfähigkeit (W/(m・K)) |
Temperaturwechselbeständigkeit（℃） | Durchschlagfestigkeit（kv/mm） | Chemische Beständigkeit |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Chemische Formel und Reinheit | ||||||||
| AlN | 13 | 3 | 1,500 (in Stickstoffatmosphäre) |
2.4 | 160(20℃) | 400 | >15 | Gut (es korrodiert in alkalischen Bedingungen und Wasser) |
Aluminiumnitrid – Wichtige Eigenschaften und beliebte Anwendungen
| Wichtige Eigenschaften | Anwendungen | |
|---|---|---|
|
■Hohe thermische Stabilität ■Geringe Wärmeausdehnung ■Hohe Wärmeleitfähigkeit ■Hohe Temperaturwechselbeständigkeit |
Die hohe Wärmeleitfähigkeit macht AlN ideal für Anwendungen, bei denen eine schnelle und gleichmäßige thermische Reaktion erforderlich ist. Es wird aufgrund seiner hervorragenden Wärmeableitungseigenschaften häufig für elektronische Anwendungen verwendet.Die hohe Wärmeleitfähigkeit in Verbindung mit der geringen Wärmeausdehnung machen AlN außerdem zu einem ausgezeichneten temperaturwechselbeständigen Material, das schnellem Aufheizen und Abkühlen standhält. |
■Kühlkörper und Wärmeverteiler ■Halbleiterheizgeräte ■Substratmaterial für hochleistungsfähige elektronische Geräte ■ Wärmeübertragungselemente für den Einsatz bei hohen Temperaturen |
| Good Chemical Resistance |
AlN ist sehr korrosionsbeständig, insbesondere gegenüber Halogengasplasma. Es reagiert jedoch mit Wasser und alkalischem Wasser und erzeugt Ammoniakgas. |
■ Komponenten, die Halbleiterprozesschemikalien und -gasen bei hohen Temperaturen ausgesetzt sind ■Komponenten, die Plasma ausgesetzt sind |
Verfügbare Größen und Bearbeitungskapazität
| Verfügbarkeit | Größen (mm) | Bearbeitungskapazität | Größen (mm) |
|---|---|---|---|
| Platte | Φ350×30 | Loch-Durchmesser | Φ0.03 or more |
| Stab | Φ20×200 | Tiefe der Bohrung | 300 or less |
| Breite der Kerbe | 0.05 or more | Max. Anzahl Bohrungen | 3,000 (approx.) |
| Max. Stufenhöhe | 30 | Gewindegröße | M2 or more |
Aluminiumnitrid (AlN) - Kundenspezifisch bearbeitete Teile
Ceramics List
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- Aluminiumoxid（Al₂O₃）
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Ausgezeichnete elektrische Isolationseigenschaften, hohe Temperaturbeständigkeit, Plasmabeständigkeit, hohe Härte, Verschleißfestigkeit
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- Aluminiumnitrid（AlN）
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Hohe Wärmeleitfähigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, geringe Wärmeausdehnung, ausgezeichnete elektrische Isolationseigenschaften, Plasmabeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit
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- Zirconiumdioxid（ZrO2）
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Hohe Bruchzähigkeit, niedrige Wärmeleitfähigkeit, Verschleißfestigkeit
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- Siliciumcarbid（SiC）
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Hohe Härte, hohe Wärmeleitfähigkeit, hohe mechanische Festigkeit, Korrosionsbeständigkeit
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- Siliciumnitrid (Si3N4)
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Hohe Bruchzähigkeit, geringe Wärmeausdehnung, Verschleißfestigkeit, gute Temperaturwechselbeständigkeit
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- Bearbeitbare Keramiken
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Ausgezeichnete elektrische Isolationseigenschaften, gute Bearbeitbarkeit, hohe Temperaturbeständigkeit
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