Machining Examples

Krzem (Si) – Obróbka części na zamówienie

Krzem jest najczęstszym materiałem półprzewodnikowym. Krzem o wysokiej czystości jest materiałem zarówno na płytki krzemowe, jak i na elementy do przetwarzania półprzewodników, co pozwala uniknąć cząstek i zanieczyszczeń.
Kolumnowy krzem krystaliczny jest dostępny w dużych rozmiarach. Posiada on również doskonałą wytrzymałość mechaniczną w szerokim zakresie temperatur. Co więcej, obrabialność kolumnarnego krzemu krystalicznego jest lepsza niż krzemu monokrystalicznego i może być obrabiana z mniejszą ilością odprysków i pęknięć.

Właściwości Krzemu

Właściwości
(Unit)
Twardość Vickersa
(GPa)
Wytrzymałość na zginanie
(MPa)
Temperatura topnienia
(℃)
Współczynnik rozszerażalności cieplnej
(×10-⁶/℃)
Przewodność cieplna
(W/(m・K))
Oporność objętościowa
(μΩ・㎝)
Czystość
(%)
Doping
Wzór chemiczny i struktura
Single Crystal
(Si)
7 78 1,414 3.4 160 0.1~100 11N N
P
Columnar Crystal
(Si)
7 85 1,414 3.3 163 0.001~10 6N P

※Więcej szczegółów w naszym przewodniku po materiałach

Wymiary i możliwości obróbki

Dostępność Wymiary (mm) Dostępność Wymiary (mm)
Dysk 500×800×50(kolumnowy kryształ Si tylko) Średnica otworu Φ.03 i więcej
Pręt Φ100×400(kolumnowy kryształ Si tylko) Głębokość otworu 20D(Głębokość otworuΦ1.5)、400(jeśli więcej niż thanΦ1.5)
Szerokość żłobienia 0.05 i więcej Max. liczba otworów 5,000
Max. wysokość 100 Rozmiar gwintu M3 i więcej(Montaż wkładek spiralnych wymagany)

Przykłady części wykonanych przez nas na zamówienie klientów

  • Dome shaped electrode

  • Silicon electrode 2

  • Micro grooving product

  • Plate

  • Round shape product

  • Pan head screws and specialized pins