Formbearbeitung

Die Bearbeitung von Keramik, Glas und anderen spröden Werkstoffen ist unter Verwendung von Diamantwerkzeugen auf ähnliche Weise möglich, wie die Bearbeitung von Metall.
Mit Werkzeugmaschinen und CNC-Bearbeitungszentren, fertigen wir Formen, Kerben, Rillen, Nuten, Bohrungen und Gewindebohrungen in Aluminiumoxid, Wolfram, Molybdän, Aluminiumnitrid, Zirkonoxid, Siliciumcarbid, Bornitrid, Siliciumnitrid, Glas, Silicium und anderen Materialien.
Beispiele der Formbearbeitung
Anwendungsbeispiele sind in zahlreichen Bereichen zu finden, von Prüfhalterungen über Elektroden, Shower Head Platten, Tiegeleinsätze, Kollimatoren, Spannvorrichtungen und Suszeptoren, bis hin zu Probentischen, Saugplatten, Isoliermaterial, Düsen und weiteren Komponenten für Geräte und Anlagen der Industrie, Medizin, Lebensmittelverarbeitung und anderer Branchen.
Suszeptor
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Aus einer quadratischen Aliminiumoxid-Platte mit den Abmaßen 180,0 mm x 180,0 mm x20 mm (d) auf eine Höhe von 10,0 mm gefräst.
Elektrode
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3D-Formgebung aus einer Molybdän-Platte.
Klemmring
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Aus einer runden Aluminiumoxid-Platte gefräst. Der Beispielring besitzt einen Außendurchmesser von 300,0 mm und einen Innendurchmesser von 285,0 mm. Die Maßgenauigkeit des Abstandes zwischen Plansenkung und Oberfläche der Projektion beträgt +/-5µ.
Kühlkomponente
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Mittels CNC-Bearbeitungszentren aus einer Aluminiumnitrid-Platte gefräst. 3D-Formgebung in der Mitte.
Platte mit Innengewinden
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Die Abbildung zeigt Gewinde der Größe M2 bis M16 in Aluminiumoxid. Gewindeschneiden ist auch in anderen Keramiken und Glas, sowie für Spezialschrauben möglich. Zur Verstärkung der Gewinde können Helicoileinsätze verwendet werden.