Mikrobohrungen
Für eine Vielzahl von Anwendungen, wie beispielsweise Prüfhalterungen, Düsen, Elektroden und Masken, fertigen wir Mehrlochbohrungen, Präzisionsbohrungen und schmale Tieflochbohrungen. Dafür verwenden wir Bearbeitungszentren mit materialspezifischen Werkzeugen.
Bearbeitungsbeispiele für die Bohrung von Mikrolöchern
Das obige Beispiel zeigt Mikrobohrungen in spanend bearbeitbarer Keramik. Top Seiko hat insbesondere Erfahrung beim Bohren von Mikrolöchern in gesinterter Keramik (Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid und Zirkonoxid), Silicium, Quarzglas, Molybdän und Wolfram.Shower Head Platte
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600 Mikrobohrungen mit einem Durchmesser von 0,1mm in Hi-M soft. Dieser Werkstoff verfügt über einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 4,4×10-6, eine Härte von 3,9 GPa und eine Wärmeleitfähigkeit von 90 Wm*K. (Im Vergleich dazu beträgt der Wärmeausdehnungskoeffizient von Silicium 4,2×10-6 und die Wärmeleitfähigkeit von spanend bearbeitbarer Keramik 1,5 Wm*K.)
Gasdüse
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1650 Mikrobohrungen mit einem Durchmesser von je 0,1mm in Hi-M soft.
Filter
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6000 Mikrobohrungen mit einem Durchmesser von je 0,05mm in einer spanend bearbeitbaren Keramik.
Shower Head Platte
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300 Mikrobohrungen mit einem Durchmesser von 0,09mm in gesintertem Zirkonoxid.
Probe mit diversen Bohrungen
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300 Bohrungen mit unterschiedlichen Durchmessern im Bereich von 0,1 bis 16,0mm in Aluminiumoxid.
Beispiele für Bohrungen von Mikrolöchern
Bohrungsdurchmesser: 50 μm, Anzahl der Bohrungen: 10.100
Bohrungsdurchmesser: 185 μm, Anzahl der Bohrungen: 1.600, Material: spanend bearbeitbare Keramik, Dicke: 0,3mm
- Anzahl der Bohrungen: 1820
Bohrungsgröße: Ø1,0mm,
Tiefe 5mm
Material: Quarz
- Anzahl der Bohrungen: 1820
Bohrungsgröße: Ø 1,0,
Tiefe 1,5mm
Material: Molybdän
- Elektrode, Material: Molybdän
Bohrungsdurchmesser: 0,04mm
Material: spanend bearbeitbare Keramik
Elektrode für Plasmageräte
Material: Molybdän
Anzahl der Bohrungen: 1622
Bohrungsgröße: Ø 1,0mm,
Tiefe 5mm
Shower Head Platte
Material: Quarzglas
Anzahl der Bohrungen: 1000
Bohrungsgröße: Ø 0,1mm,
Tiefe 3mm
Gasdüse
Material: Wolfram
Anzahl der Bohrungen: 800
Bohrungsdurchmesser: 0,1mm
Gasdüse
Material: Zirkonoxid
Schlitz-Breite 0,07mm
Mikrobohrungen
Material: Zirkonoxid
Bohrungsdurchmesser: 0,01mm
Material: Zirkonoxid
Anzahl der Bohrungen: 2.000
Bohrungsdurchmesser: 0,08mm
Material: Aluminiumnitrid
Anzahl der Bohrungen: 7.000
Bohrungsgröße: Ø 1,0,
Tiefe 10mm
