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Duschkopfplatte
| Produkt | Duschkopfplatte |
|---|---|
| Material | Siliciumcarbid |
| Verfahren | Bohren von Mikro-Löchern |
| Größe | Φ300 x 8 mm(T) |
| Anmeldung | Wird in Geräten zur Halbleiterherstellung verwendet. |
| Beschreibung | Eine Duschplatte aus Siliziumkarbid wird in Plasmabehandlungsanlagen verwendet. Sie hat 800 Mikrolöcher von Φ1,0 mm, die in die SiC-Duschplatte gebohrt sind. Siliziumkarbid hat eine hohe chemische Beständigkeit und Korrosionsbeständigkeit und ist ein beliebtes Material für Teile, die in Halbleiterverarbeitungsanlagen verwendet werden. |
