SiC-Kappe - Top Seiko Co,. Ltd.

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SiC-Kappe - Top Seiko Co,. Ltd.

SiC-Kappe

Product	SiC-Kappe
Material	Siliciumcarbid
Processing Method	CNC-Bearbeitung
Size	Φ10 x 4 mm(T)
Application	SiC-Kappe, die zur Abdichtung als Kammerkomponente verwendet wird.
Description	Die SiC-Kappe aus Siliciumcarbid wird in einer Kammer für plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung verwendet. Siliciumcarbid besitzt eine hohe Plasma- und Hitzebeständigkeit.

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