SiC-Ring
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Product | SiC-Ring |
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Material | Siliciumcarbid |
Processing Method | CNC-Bearbeitung |
Size | ADΦ50 x IDΦ40 x 5 mm(T) |
Application | Siliciumcarbidring, der als Kammerkomponente verwendet wird. |
Description | Der SiC-Ring wird in plasmagestützten CVD-Kammern verwendet. Zu den Eigenschaften von Siliciumcarbid gehören eine hohe Plasma- und Hitzebeständigkeit. |